SMC高真空閥，XLAV-25F-M9BA-4L

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鋁制高真空L型閥   XL□
 系列/CAD 動(dòng)作方式 軸密封形式
 閥形式 材質(zhì) 法蘭尺寸
XLA  氣控 波紋管密封 單作用
(N.C.) 閥體：
　鋁合金
波紋管：
　SUS316L 16～80
XLAV
(帶電磁閥) 
XLC  雙作用
XLCV
(帶電磁閥) 
XLF  O形圈密封
 單作用
(N.C.) 閥體：
　鋁合金 16～160
XLFV
(帶電磁閥) 
XLG  雙作用 16～80
XLGV
(帶電磁閥) 
XLD  波紋管?
O形圈密封
 單作用
(N.C.) 閥體：
　鋁合金
波紋管：
　SUS316L 25～80
XLDV
(帶電磁閥) 
XLH  手動(dòng) 波紋管密封
 手動(dòng) 閥體：
　鋁合金
波紋管：
　SUS316L 16～50
XLS  電磁式 波紋管壓力平衡 單作用
(N.C.) 16, 25
特長(zhǎng) 抗氟腐蝕能力強(qiáng)。
放出氣體少。
重金屬污染少。

高真空角閥系列XL 特點(diǎn)
（XLA/ XLAV的波紋管密封，單作用）
顆粒和清潔室兼容波紋管
類(lèi)型
•壓力平衡機(jī)制
（XLC/ XLCV的波紋管密封，雙作用）
顆粒和清潔室兼容波紋管
類(lèi)型
•壓力平衡機(jī)制
（XLF/ XLFV的O形圈密封，單作用）
•低氣體夾帶O型圈與就業(yè)
密封系統(tǒng)
•高速響應(yīng)
•通過(guò)特殊的表面顆粒減少
**軸封。
（XLG/ XLGV的O形圈密封，雙作用）
•低氣體夾帶O型圈與就業(yè)
密封系統(tǒng)
•高速響應(yīng)
•通過(guò)特殊的表面顆粒減少
**軸封。
XLD/ XLDV的（2步控制，單作用）
•初始階段，排氣閥和排氣閥主要
被組合。 （流速2步控制閥）
•一個(gè)緊湊的系統(tǒng)設(shè)計(jì)并減少
管道
•防止顆粒內(nèi)部動(dòng)蕩
室中耗盡。
•防止泵運(yùn)行，而超載。
•初始排氣閥門(mén)的流量是可調(diào)的。
XLH（波紋管密封，手動(dòng)）
•波紋管類(lèi)型為可吸入顆粒和清潔。
•壓力平衡機(jī)制允許不受限制
排氣方向。
•低啟動(dòng)力矩（0.5 N·m以下）
•Spring提供了標(biāo)準(zhǔn)的密封比壓。
•手柄高度是相同的，當(dāng)閥門(mén)打開(kāi)或
關(guān)閉。
•指示燈確認(rèn)閥門(mén)的開(kāi)啟和關(guān)閉
是標(biāo)準(zhǔn)裝備。
XLS（波紋管壓力平衡，常閉
XLS電磁）
•顆粒物減少，因?yàn)闆](méi)有滑動(dòng)
金屬零件。
•壓力平衡機(jī)制允許不受限制
排氣方向。
•控制電源的電磁閥驅(qū)動(dòng)電路
已取得的標(biāo)準(zhǔn)。
•可用于便攜式設(shè)備中，因?yàn)榭諝怛?qū)動(dòng)
是沒(méi)有必要的。

SMC高真空閥，XLAV-25F-M9BA-4L

High Vacuum Angle Valves Series XL Features
XLA/XLAV (Bellows seal, Single acting)
• Particulate-free and clean room compatible bellows
type
• Pressure-balance mechanism
XLC/XLCV (Bellows seal, Double acting)
• Particulate-free and clean room compatible bellows
type
• Pressure-balance mechanism
XLF/XLFV (O-ring seal, Single acting)
• Low gas entrainment with employment of O-ring
seal system
• High speed response
• Particulates are reduced through special surface
treatment of shaft seal.
XLG/XLGV (O-ring seal, Double acting)
• Low gas entrainment with employment of O-ring
seal system
• High speed response
• Particulates are reduced through special surface
treatment of shaft seal.
XLD/XLDV (2-Step control, Single acting)
• Initial stage exhaust valve and main exhaust valve
are combined. (flow rate 2-step control valve)
• Designed with a compact system and reduced
piping
• Prevents particulate turbulence inside the
chamber during exhaustion.
• Prevents pumps from running while overloaded.
• Initial exhaust valve flow is adjustable.
XLH (Bellows seal, Manual)
• Bellows type is particulate free and cleaned.
• Pressure balance mechanism allows unrestricted
exhaust direction.
• Low actuation torque (0.5 N·m or less)
• Spring provides standard sealing load.
• Handle height is the same when valve is open or
closed.
• Indicator to confirm opening and closing of valve
is standard equipment.
XLS (Bellows pressure balance, Normally closed
XLS electromagnetic)
• Particulates are reduced because there are no sliding
metal parts.
• Pressure balance mechanism allows unrestricted
exhaust direction.
• A control power supply circuit for solenoid valve drive
has been made standard.
• Can be used in portable equipment since air for drive
is not necessary.

SMC高真空閥，XLAV-25F-M9BA-4L

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